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電話番号
+86-1381-880-1372
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アドレス
上海市浦東新区新金橋路1888号36号棟7階702室20126
製品分類
伯東企業（上海）有限公司
概要
HVA真空ゲート弁、真空プラグ弁21200シリーズは百万周期真空ゲート弁であり、高真空応用のために設計され、特に1 x 10-9 mbar高真空であり、ベーキング温度が150 Cを超えない応用に適している。HVA真空ゲートバルブ、真空プラグバルブ21200シリーズの内部には機械的なロックがない、振動のない運転が要求される半導体と敏感なプロセスに最適である.すべての可動関節の軸は硬化処理され、粒子状物質の発生を減少し、より安定した駆動を提供した。清潔性と高い密封性はHVA真空バルブと低温ポンプ、ターボ分子ポンプ、イオンポンプなどの完璧な併用を保証する。上海伯東は米国HVA真空バルブの中国地区で唯一の指定総代理店である。
製品詳細
HVA真空ゲートバルブ、真空プラグバルブ21200シリーズの製品特徴：
HVA真空ゲートバルブ、真空プラグバルブ21200シリーズの製品特徴：
1.直線駆動により、溶接ベローズを使用してドライバを密封することができる.
2.独特なシリンダ設計により衝撃と振動を最小化した。
3.HVA真空ゲートバルブ21200シリーズの真空チャンバ内には機械的なロックがないため、半導体製造やその他の低振動が要求される敏感加工産業に特に適している.
4.移動するすべての継手にはハードシャフトがあり、微粒子の発生を効果的に低減し、駆動を容易にする。
5.HVAステンレス鋼弁体真空ゲート弁は真空弁業界最小の内部表面領域を提供した。
6.弁体とすべての内部部品は1100℃、1 x 10 E-6 Torrの真空炉で一体ろう付けが完了し、弁の最大完全性を確保した。
7.保守面では、真空バルブをシステム全体から取り外すことなくブラケット部分を取り外すことができる.
8.バルブ駆動手動、空気圧オプション。
9.標準又はカスタムフランジは異なる応用を満たす。
10.HVA標準周期真空バルブ21200シリーズは任意の位置に取り付けることができる.
11.電磁弁の制御及び手動オーバーコントロールを有する.
