HORIBA流量計AMAT 3030-17596

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概要

AMAT 3030-17596 EDWARDSエドワード、リニアモーター分子ポンプ修理、普発分子ポンプ修理、Varian分子ポンプ、ULVAC分子ポンプ修理、アルカテル分子ポンプ修理、Leybold分子ポンプ修理、EDWARDS分子ポンプ修理、SeikoSeiki分子ポンプ修理、島津分子ポンプ修理、Osaka分子ポンプ修理民間パートナー企業

製品詳細

余暇時間3030-17596

Cryo-Plex 16クライオポンプ

全面的な高効率設計を考慮して、Cryo-Plex 10クライオポンプは8インチクライオポンプの2倍の抽気速度を実現することができて、理想的なクリーン、オイルフリーの高真空排気方案である。

標準応用：半導体、空間環境シミュレーション、真空めっき及び各種研究開発分野

柔軟な構成

ANSI、ISO、CFなどの多種フランジインタフェースをサポートする

M 600ヘリウム圧縮機1台で1台または2台のCryo−Plex 10クライオポンプを同時に駆動することができ、スペース、電気エネルギー、メンテナンス作業を節約することができる。複数台のクライオポンプを必要とする大型真空室には、非常に理想的な選択肢である。

標準設計

Austin ScientificのCryo-Plexシリーズクライオポンプ、圧縮機はHelixブランドのCryoTorrシリーズクライオポンプ、圧縮機と互換性があり、交換することができ、アップグレード、メンテナンス、交換などのサービスを大幅に便利にすることができます。

パラメータ

Cryo-Plex 10 - ガスポンプ速度リットル/秒
空気	3,000
水	9,000
水素	5,000
アルゴン	2,500
ガス容量 - 標準リットル @ 5x10-6 Torr
水素	24
アルゴン	2,000
スループット
アルゴン sccm	1,500
クロスオーバー
トルリットル	300
冷却時間
60 ヘルツ	最も広い流量と圧力の適用範囲長期安定性保障設備の使用価値危険区域に適用されると認定された製品を含む洗浄/洗浄可能な機器筐体流体タイプガス流量範囲-フルレンジ容量 3 sccm - 2500 lpm 精度 SP の±0.6% さいだいあつりょく 4500 PSIG 温度 65oC 出力タイプアナログ＆デジタルきんぞくシールねつ湿度や酸素に敏感なプロセスに適しています高純度流路はプロセス汚染を最大限に低減し、生産性を高めることができる超高速応答性流体タイプガス流量範囲-フルレンジ容量 3 sccm - 300 slpm 精度 SP ±1% さいだいあつりょく 150 PSIG 温度 50oC 出力タイプアナログ＆デジタルこうおんねつ最高動作温度高精度と再現性超高純度構造流体タイプガス流量範囲-フルレンジ容量 3 sccm - 10 slm 精度 SP ±1% さいだいあつりょく 145 PSIG 温度 105oC 出力タイプアナログ＆デジタルコリオリ超低流量プロセスで達成できる最高精度ビルトイン液体密度計液体とガスの両方の用途に適した装置流体タイプガス、液体流量範囲-フルレンジ容量 10 - 27,000 グラム/時間精度料金の0.2% - 0.5% さいだいあつりょく 4500のPSI 温度 65oC 出力タイプアナログ＆デジタル 60分
クライオポンプの測定
高さ	23.9'
重量 LBS	85
入口フランジ	ANSI/ISO/CF

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