ガス質量流量計の温度圧力補償機能付き測定はより正確である

ガス質量流量計の温度圧力補償機能付き測定はより正確であるガス流量を正確に測定するための専門計器であり、多くの分野で発揮されている関数を参照してください。その動作原理は主に熱式測定原理に基づいている。一般的な熱式ガス質量流量計を例に、典型的なセンシング素子は2つの熱抵抗のうち1つを速度センサとして含み、環境温度より高い一定温度に加熱される、もう1つは誘電体温度を誘導するための温度センサである。ガスが速度センサを流れると、熱の一部が失われ、センサ温度が低下する。温度を一定に維持するためには、センサを通過する動作電流を増加させ、増加した電流の大きさはガス流速に比例し、さらに熱伝達量を測定することでガスの質量流量を算出する必要がある。この方式は温圧補償を必要とせず、直接ガスの質量流量を得ることができる。

正確な測定を実現でき、精度は通常±1%の示度以上に達することができ、実験と生産過程に信頼性のあるデータサポートを提供する。例えば化学蒸着実験において、反応ガス流量の正確な制御は、薄膜成長の均一性と成分の正確性を確保し、誤差は極小範囲内に制御できる。

化学と材料科学の分野では、蒸着実験に用いて反応ガス流量を制御し、薄膜の品質を保障する、生物と医学研究において、細胞培養に必要なガスを正確に供給し、細胞成長環境を維持する。環境科学とエネルギー研究の面では、空気サンプルを採取する際に流量を制御し、大気汚染物のモニタリングなどを支援する。