EDWARDSエドワード分子ポンプ修理Cryo-Plex 16低温ポンプ

全面的な高効率設計を考慮して、Cryo-Plex 10クライオポンプは8インチクライオポンプの2倍の抽気速度を実現することができて、理想的なクリーン、オイルフリーの高真空排気方案である。

標準応用：半導体、空間環境シミュレーション、真空めっき及び各種研究開発分野

柔軟な構成

ANSI、ISO、CFなどの多種フランジインタフェースをサポートする

M 600ヘリウム圧縮機1台で1台または2台のCryo−Plex 10クライオポンプを同時に駆動することができ、スペース、電気エネルギー、メンテナンス作業を節約することができる。複数台のクライオポンプを必要とする大型真空室には、非常に理想的な選択肢である。

標準設計

Austin ScientificのCryo-Plexシリーズクライオポンプ、圧縮機はHelixブランドのCryoTorrシリーズクライオポンプ、圧縮機と互換性があり、交換することができ、アップグレード、メンテナンス、交換などのサービスを大幅に便利にすることができます。