CRX-VF低温真空プローブ台

米国Lake Shore CRX-VF低温真空プローブ台は、デバイスに非破壊的なテストを行うことができ、デバイスの最大サイズは51 mm（2 inch）に達することができる低コストで低温冷媒を必要としないプローブ台である。材料またはデバイスの電気特性測定、光電特性測定、パラメータ測定、high Z測定、DC測定、RF測定、マイクロ波特性測定に対してテストプラットフォームを提供することができます。一般に、ナノ電子材料、量子線、量子ドット、半導体材料はCRX−VFで測定される比較的典型的な材料である。システムのプローブ、テストケーブル、サンプルラックにはさまざまなタイプがあり、さまざまなユーザーのニーズに対応しています。

製品紹介

Sumitiomo社の4 K閉サイクル冷凍機を使用して、液体ヘリウムと液体窒素を消費する必要はありません。CRX-VF低温真空プローブ台が提供できる最大超伝導磁場は22.5 KOe（2.25 T）*で、その温度変化範囲は10 K-500 Kです。各低温サンプル段に温度計とヒーターを設置し、迅速な熱応答を提供し、迅速に室温に戻ることができ、サンプル交換が便利である。熱放射スクリーンは黒体放射線を大幅に低減し、冷房効率を向上させた。

システムは入念な設計を採用して振動を低減し、各種の制振装置を採用して機械振動の影響測定の性能を阻止した。試料の振動は全レンジ温度範囲で1 um（X，Y，Z軸）未満であった。

米Lake Shore CRX-VF低温真空プローブ台には、微調整可能なプローブアームが最大6個取り付けられ、各プローブアーム上のプローブは3次元方向の位置決めが可能です。マイクロ波プローブは±5°回転でき、サンプルをプローブとよりよく整合させることができる。DCプローブは低騒音、低リーク電流、熱接触が良い。RFプローブ周波数は67 GHzに配置され、光は窓から入射することができ、光ファイバを介して導入することもできる。専用のプローブはサイズや材料によって様々なタイプに分類され、プローブは熱品質を減少させ、デバイスとの電気接触性を最適化した。各プローブは、サンプルに対するプローブの熱伝達を減少させるために、コールドヘッドと直接熱伝導を行う。

製品の特徴

●2.25 T垂直超伝導磁場

●閉循環冷凍機を用いて冷却し、液体窒素や液体ヘリウムを消費する必要はなく、基本システム温度範囲：10 Kから350 K

●高温オプション温度範囲：20 Kから500 K

●プローブアームはそれぞれ放射線防止スクリーンとサンプル台の上で熱沈殿し、最低温度は25 Kに達することができる

●プローブアームに温度センサを取り付けて温度監視を行う

●温度制御安定性：±50 mK

●低振動設計：試料台で<1μm（X、Y、Z軸）

●DCから67 GHzまでの測定

●各種サンプルラックは低騒音、高周波、高抵抗測定に適している

●最大試験サンプルサイズ51 mm（2 in）直径

●最大6個のプローブアームを使用可能