ボックス型プラズマ洗浄機

FARI箱式プラズマ洗浄機は先進的な乾式脱膠及びエッチングシステムを採用し、ウエハ製品の大規模な生産と処理をサポートすることができ、設備のメンテナンスコストは低効率で高く、プラズマによる損傷を最大限に減少させ、フォトレジストの分離を安定的に行うことができ、また各種化学物質を使用することによって高用量イオン注入フォトレジスト除去技術を改善することができ、窒化シリコン、酸化物、金属層などの多種の技術に使用することができる。

多層フレキシブル板のスラグ除去：エポキシ樹脂ゴム、アクリルゴムなどの各種ゴム系に適用する。 化学薬水のスラグ除去よりも安定しており、より徹底的に、良率を20%以上高めることができる。	高周波板処理効果図：
高アスペクト比FR-4硬板微孔除去スラグ、高TG硬板除去スラグ：により化学 薬水膨張力因子により薬物使用水がスラグを除去する場合、薬物無マイクロホール内部に法が浸透する、 スラグ除去を不徹底にする、プラズマは受けられない孔径の大きさ制限、小さいほど孔径の優位性が上回る 突き出ている。	硬軟結合板のスラグ除去：スラグ除去は徹底的で、過マンガン酸カリウムの薬水による軟板PIへの攻撃を回避し、孔壁の凹食が均一であり、孔めっきの信頼性と良率を高める。

方瑞科技はCE認証とISO 9001を通過した。ここ数年来、私たちは研究開発を続け、多くの「実用新案特許証明書」を取得してきました。私たちは最大限の努力をして突破を実現します。