600 mm洗浄ユニット（U 2 V/2 UV）

現在、クリーン技術は様々な業界の製品を生産するために広く応用されている、または粒子汚染や微生物汚染を防止する必要があるその他の環境制御。例えば携帯電話の電子部品を生産するクリーンルームでは、空気浄化の主な目的は空気中に浮遊する塵粒を除去し、清潔な作業環境を創造し、製品の高品質、高精度、高純度、高生産量を保証することである。

電子製品の分野では、電子部品の電子管から半導体分離装置から集積回路まで、集積回路の線幅だけが数ミクロンから約0.1ミクロン、例えば生産上のパッチ、露光、エッチング、検査などの製造プロセスの前段であるため、小型化、精密化された生産環境が必要である。

塵埃除去の前に静電除去装置によって表面の静電を除去し、それから特殊に設計された塵埃除去ユニットを介して塵埃と材料の境界層を打破し、塵埃除去ユニットによって超音波気流を発生させる振動材料表面の粉塵は緩みが生じた後、除塵ユニットの真空吸引力によって吸引され、除塵の役割を果たす。

非接触式除塵装置の特性と利点および動作原理：

1、非接触構造は材料損傷を避ける。超音波は空気粘性層を破壊し、極小粒子を完全に除去する（1.6 um以上）のほこり。

2、除塵ユニットから吹き出された気流は十分な応用を得て、気流全体と真空を制御して、それによって持続的な除去性能が材料の厚さの影響を受けないことを保証した。

3、高効率の気流制御、いくつかの低圧気流も応用でき、損失を減少した。

4、非接触式の洗浄方式により、洗浄されたワークが傷や損傷を受けないようにする。

5、閉ループシステムは生産現場（クリーンルーム）の気流バランスを破壊しない。

6、高純水や化学薬品などの高額な消耗品を必要とせず、同時に後続の乾燥を必要とせず、生産コストを削減し、生産ラインの長さを短縮した。