計器がどのようにガス流量制御を安定させるかを分析する

ガス質量流量制御器は質量分析、クロマトグラフィー、燃焼分析などの分析技術の重要な部品である。例えばICP−MS装置の一部として、反応ユニットへのガス供給のための小型ガス流量計が用いられる。

ガス質量流量計は、このような要求の厳しい安定ガス流量制御、コンパクト、安定、および使用ガスと互換性のあるプロセスに適している。多くの分析応用において、1つの一般的な要素は微小な安定気流（流量範囲：5 ml/min-1000 L/min）を必要とすることであり、気流とその変化は測定において直接的に見られ、気流の安定は重要である。

ガス流量制御器は、5 ml/min-1000 L/minなどの小さなガス流量のプロセスガス間など、さまざまなガスタイプに適した計器である。

分析装置では、キャリアガス流量は測定結果に直接影響する。例えば、カラム中の物質の保持時間は、流体の安定性に直接依存する。流量が変動すると、測定も変動します。