真空度計器の試験原理の簡単な説明

真空度計器試験原理の概要：

消弧室の2接触子を一定の開きを開け、パルス高圧を印加する。消弧室を螺旋コイル内に置くか、新型電磁コイルを消弧室の外側に置き、コイルに磁界電圧を印加することで、消弧室内に高圧に同期したパルス磁界を発生させる。このようにパルス磁場と強電場の作用の下で、消弧室中の電子は螺旋運動を行い、残留ガス分子と衝突イオン化し、発生したイオン電流は残留ガスの密度（すなわち真空度値）に比例関係する。異なる型番の真空管（管型）については、その構造が異なるため、同等のコンタクト開距離、同等の真空度、同等の電界と磁界の条件下で、イオン電流の大きさも異なる。実験により、様々な管型の真空度とイオン電源との対応関係曲線を標定することができる。イオン電流を測定すると、管型のイオン電流−真空度曲線を調べることで管型の真空度を得ることができる。従来のマグネトロン放電法で消弧室の真空度を試験する場合、試験感度を高めるためには、遮断器から消弧室を取り外し、コイルコイル内に並置する必要がある。このようにして、消弧室が遮断器装置に再装着する際には機械パラメータを再調整する必要があり、作業量が大きく、専門家が必要となる。新しい磁気コイルを使用することで、アーク除去チャンバを側面から取り囲むことができ、アーク除去チャンバを取り外す必要がなくなります。同時にモノリシックマイコンを用いて同期制御とデータ収集処理を行い、消弧室の真空度の現場試験感度を高めた。