いくつかのセンサーの利点-計器ネットワーク

抵抗式センサ

抵抗式センサは、変位、変形、力、加速度、湿度、温度などの測定された物理量を抵抗値に変換するデバイスである。主に抵抗歪式、圧電抵抗式、熱抵抗、サーマル、エア感受性、ウェット感受性などの抵抗式センシングデバイスがある。

抵抗ひずみ形センサ

センサ中の抵抗歪みシートは、外力によって機械的歪みが発生し、それに伴って抵抗値が変化する金属の歪み効果を有する。抵抗歪みシートは主に金属と半導体の2種類があり、金属歪みシートは金属線式、箔式、薄膜式のものがある。半導体歪みシートは感度が高く（通常はワイヤ式、箔式の数十倍）、横効果が小さいなどの利点がある。

ピエゾ抵抗式センサ

ピエゾ抵抗センサは、半導体材料の基板上に拡散抵抗を介して半導体材料のピエゾ抵抗効果に基づいて作製されたデバイスである。その基板は直接測定センシングアセンブリとすることができ、拡散抵抗は基板内でブリッジ形式に接合される。基板が外力作用を受けて変形すると、各抵抗値が変化し、ブリッジが対応するアンバランス出力を発生する。

圧力抵抗センサとして使用される基板（または膜）材料は主にシリコンシートとゲルマニウムシートであり、シリコンシートが感受性材料で作られたシリコン圧力抵抗センサはますます重視されており、特に圧力と速度を測定する固体圧力抵抗センサの応用が一般的である。

熱抵抗センサ

熱抵抗センサは、主に温度変化に伴う抵抗値の変化という特性を用いて温度及び温度に関するパラメータを測定する。このセンサは、温度検出精度の要求が比較的高い場合に適している。現在、比較的広範な熱抵抗材料は白金、銅、ニッケルなどであり、それらは抵抗温度係数が大きく、線形がよく、性能が安定し、使用温度範囲が広く、加工が容易であるなどの特徴を有する。−200℃〜500℃の範囲の温度を測定するために使用される。