プローブの下でミクロの世界を正確に再現

中図計器NSシリーズコーティングステップ膜厚計超精密接触式ミクロ輪郭測定器であり、その精密なXYプラットフォームは360°連続回転電動回転台と結合し、サンプルの位置と角度を調節することができ、3次元位置はすべて調節することができ、サンプルの調整に有利である。主に階段高、膜層厚、表面粗さなどのミクロ形態パラメータの測定に用いられる。

NSシリーズコーティングステップ膜厚計線形可変差動容量センサLVDCを採用し、超微力調節の能力と亜オングストローム級の分解能を備え、同時に、それは超低雑音信号収集、超微細運動制御、標定アルゴリズムなどの核心技術を集積し、器具に超高の測定精度と測定量重複性を備えさせた。

製品特性

1.優れた繰り返し性と再現性、被測定物の測定精度要求を満たす

亜オングストローム分解能を持ち、13 umレンジで0.01オングストロームに達する線形可変差動容量センサ（LVDC）。高信号対雑音比と低線形誤差により、製品は数ナノメートル〜数百ミクロンステップの形態的特徴を走査することができる。

2.超微力定力センサー：（1-50）mg調整可能

硬質または軟質材料の表面に適応するために、測定力は一定に調整することができる。超低慣性量設計と微小電磁力制御により、接触損傷のない正確な接触式測定を実現する。

3.超平走査プラットフォーム

システムには超高直線度ガイドレールが搭載されており、運動中の微細な振れを根絶し、スキャン精度を高め、ワークの微小な形態をリアルに反映する。

4.トップビュー光学ナビゲーションシステム、5 MP超高解像度カラーカメラ

5.全自動XYステージ、Z軸自動昇降、360°全自動θターンテーブル

6.強力なデータ収集と分析システム

段差計ソフトウェアは複数のモジュールを含み、異なる被測定物の高さ測定と分析評価に十分な支持を提供する。

製品機能

1.パラメータ測定機能

1）段差高さ：ナノメートルから330μmまたは1050μmまでの段差高さを測定でき、エッチング、スパッタリング、SIMS、堆積、スピンコーティング、CMPなどのプロセス中に堆積または除去された材料。

2）粗さとうねり：サンプルの粗さとうねりを測定でき、分析ソフトウェアは走査したミクロ輪郭曲線を計算することにより、粗さとうねりに関するRa、RMS、Rv、Rp、Rzなど数十項のパラメータを得ることができる。

3）応力測定：多種の材料の表面応力を測定することができる。

2.測定モードと分析機能

1）単領域測定モード：Focusが完成したら、画像ナビゲーション図に基づいてスキャン開始点とスキャン長を設定すれば、測定を開始することができる。

2）多領域測定モード：Focusを完成した後、映像ナビゲーション図に基づいて単領域スキャン経路の設定を完成し、横方向と縦方向の距離に基づいていくつかから数十数百項のスキャン経路からなる多領域測定モードをアレイ形成することができ、ワンクリックですべてのスキャン経路の自動測定を完成することができる。

3）3 D測定モード：Focusを完成した後、映像ナビゲーション図に基づいて単領域スキャン経路の設定を完成し、そして必要なスキャンの領域幅あるいはスキャン線の間隔と数量に基づいてスキャン面領域全体の設定を完成することができ、ワンクリックで自動的にスキャン面領域全体のスキャンと3 D画像再構築を完成することができる。

4）SPC統計分析：異なる種類の被測定物に対して多種の指標パラメータの分析をサポートし、ロットサンプルの測定データに対してSPC図表を提供してデータの変化傾向を統計する。

3.デュアルナビゲーション光学映像機能

NS 200-Dモデルには、正面または斜視の500 W画素のカラーカメラが搭載されており、正面ナビゲーション映像システムではスキャン経路を正確に設定でき、斜視ナビゲーション映像システムではスキャン軌跡をリアルタイムでフォローすることができる。

4.高速針交換機能

磁気吸引式測針を採用し、針交換操作を実行する必要がある場合、現場で走査測針を迅速に交換することができ、ソフトウェア中の標定モジュールに基づいて高速標定を行い、針交換後の精度と繰り返し性を確保し、メンテナンスの悩みを減らす。

磁気吸着針の実物外観図（330μmレンジ）

典型的な用途

一部の技術指標

注意：市場の発展と製品開発の必要により、本製品資料の中の関連内容は実際の状況に応じて随時更新または修正される可能性があり、予告なく、不便な点はご了承ください。