差圧式漏れ計の原理概要1.原理2.差圧センサの概要3.差圧検出方式と直圧検出方式の比較

（1）差圧式試験法試験品（ワーク）と基準試験品（標準品）に気圧を同時に印加した後、高感度差圧センサで漏洩によるワーク内圧力の変化を測定し、標準品内圧力の差と比較して漏洩を判定する方法を紹介する。

（2）空気漏れ計の動作行程第1歩：クランプワークシールを起動して起動信号を入力する第2歩：加圧行程（CHG）試験品、基準試験品内に試験圧力を加える行程第3歩：平衡行程（BAL）試験機内のガス制御弁1、弁2を閉じ、検査部位と閉回路を構成し、試験品と基準試験品との圧力差（この行程は弁閉後の圧力変動が安定するのを待つ時間であり、大漏れを検出する行程でもある）第4歩：微小漏れを検出する検出行程（DET）第5歩：排気／完了してワーク内の空気を排出し、合否の判定信号を出力する

2.差圧センサの概説原理両側圧力からの直接作用は差圧センサの膜片に作用し、膜片は差圧による微小変位をインピーダンス変化として検出し、対応する電気信号出力に変換する。ダイアフラム内を通過するシール液が測定素子に伝達されるため、過圧状態、空気が不純物を含む場合、センサを損傷しにくい。