転送矩形弁の紹介

転送矩形弁の紹介

転送矩形バルブは高真空または超高真空システムのために設計された高性能バルブである

構造設計

• 全体レイアウト：コンパクトで合理的な設計を採用し、すべての移動体は大気側に位置し、これにより真空側で微塵粒子の発生を減少させ、真空システムへの汚染を避けることができる。

• くどうきこう：通常は空気圧駆動モードを採用し、駆動機構はシリンダブロック、可動ブロック、可動軸、ストローク駆動アセンブリ、ベローズなどの部品を含む。エアノズルの吸気と排気を通じてピストンのキャビティ内での活動を実現し、さらにプッシュロッド、可動ブロックと可動軸の活動を牽引し、最終的に駆動弁板を弁体内壁の活動に貼り合わせ、弁の開閉を実現する1。

• シール構造：バルブボディシールバルブは迅速に取り外すことができ、o-ringシールリングの交換に便利である。空気圧が損失すると、バルブ底部の逆止弁はバルブプレートシールが自動的にロックされ、漏れを防止することができる。

パフォーマンスの特長

• 迅速な応答：オン/オフの最速時間は1 sを超えず、システムのオンオフ需要を迅速に満たし、生産効率を高めることができる。

• 低圧力差：バルブが開く時、圧力差値は10 mbarより小さく、効果的にシステム圧力への影響を下げ、システムの安定性を確保することができる。

• 高潔度：移動体が大気側に位置し、密封構造が最適化されたため、微塵粒子の発生と真空システムへの進入の可能性が減少し、真空システムの高潔度を保証した。

• 優れた耐久性：弁体材料はステンレス鋼またはアルミニウム合金の材質を選ぶことができ、表面は電解研磨または硬質陽極酸化処理をすることができ、比較的に強い耐食性を持ち、湿気、酸塩基などの劣悪な環境浸食を防ぐことができる。

応用分野