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超高真空全金属プラグバルブ|大科学装置研究のために生まれた
日付:2025-12-11読み:4

超高真空全金属プラグバルブ|大科学装置研究のために生まれた

HTC日揚科技が設計した全金属プラグバルブは超高真空の環境下(10µPa~10µPa)に適しており、HTC Disc金属密封技術を採用し、その圧力範囲は一般的にUHV ~ 1.2 bar(abs)であり、漏れ率zui diはできる<1×10⁻¹⁰ mbar・L/sの信頼性の高いシールです。開き方によって手動/空気圧式と、あるかどうかシールディングむせんしゅうはしゃへい機能、耐温150℃~ 250℃を実現することができる。近年国内での大科学装置の研究ひょうめんかいせき半導体製造プロジェクトには、zhuo yueの信頼性が市場で検証されている多くの成功した試作事例があります。



超高真空全金属插板阀 | 为大科学装置研究而生

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-日揚フルメタルプラグバルブ-

•安定オープン、信頼性隔離、超高真空に適用

•全金属構造、耐限界高低温、耐放射性

•RF/waveguide shielding機能付き

•マイクロ波伝送路における遮断弁として使用可能

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CF 35、CF 63及びDF 78

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ぜんきんぞくプラグバルブ高エネルギー物理実験室プロジェクトに多く使用されているため、無線周波信号の漏洩/侵入を遮断し、粒子ビーム伝送の安定を保障する需要があり、この要求にはプラグバルブに無線周波遮蔽機能がある。また、低漏れ率、耐高温、高潔純度、耐放射性、高寿命、安定信頼性は全金属プラグバルブの優れた基準であり、この面では、日揚は顧客と協力してCF 35、CF 63、DF 78などの全金属プラグバルブの開発に成功し、技術突破を実現した数少ない国産メーカーとなった。

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Class 6千級クリーンルーム生産

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全金属プラグバルブに関する事例

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2020年、日揚はSHINEプロジェクトと提携し、国内でハードX線自由電子レーザ装置プロジェクトの中で、shou ciは全金属プラグバルブの金属と金属間のハードシール、高精度位置決めなどの重要な技術的難題を突破し、そして試作機は納品に成功し、この全金属高周波シールドバルブは超伝導加速器電子ビーム流通路では、超高真空、超清浄、液体ヘリウム低温、無線周波数場、電離放射線の複雑な環境条件下で動作する。

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その後数年、日揚科学技術はCF 35、CF 63などのサイズバルブで相次いで突破した。お客様の異なる実際の環境ニーズに基づいて、その他のサイズも開発中で、そして持続的に性能を高め、データを最適化して本格的な国産代替を実現し、国内の大科学装置研究に貢献している。

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全金属プラグバルブの検収と交付

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CF 35 RFエアフルメタルプラグバルブ

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CF 63エアフルメタルプラグバルブ

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