ブルック.（ユーザ）オプチカルプロファイルメータ（白色光干渉計）製品、アプリケーションの紹介

一、製品ラインの概要：

ブルック.（ユーザ）は三次元表面計量と検査方案の*****、迅速、信頼性と使いやすい非接触式三次元輪郭特徴方案を提供する。サンプルが顕微鏡下のMEMS構造、完全な機械エンジンまで大きい。これらのプログラムは、開発、製造、品質管理を行う研究者やエンジニアに業界**の感度と安定性を提供します。これは、微細3次元表面測定の応用における他の計量方法の課題である。

ブルックの光学輪郭計は、ワイコ®独自のコア技術を持ち、10代の蓄積を経て、他の測定システムでは達成できない高精度と安定性を提供した。今日では、これらは精密表面の3次元測定の主流の応用シーンとなっている。私たちの計量ツールは**ラボと本番環境での**研究と発見をサポートできることが証明されました，設備は半導体、光学などの業界に広く応用されている。

ブルックの光学輪郭計には、デスクトップシリーズコントールX-100，X-200，X-500型，着地式シリーズコントールX-1000，NPFLEX-1000型、および専用PCB のパネルデザインのコントールSPまた、データ記憶領域の表面解析用のHD9800+。

二、機能紹介：

ブルックの3次元光学輪郭計は非接触、高精度、高適応性で知られる，研究開発、品質管理、オンライン生産にミクロからの提供が可能 MEMSシート全体に構造化300ミリメートルウエハないしそれ以上の寸法部品の***3次元表面計量ソリューション。主な機能を以下に挙げる。

1、表面形態の高精度測定：＜0.01nm＞の表面解像度、<0.1%の段差高さ反復性があります。

2、標準に準拠したトレーサビリティ結果：ブルック三次元光学輪郭計は計量装置として、高さの測定は極めて正確である。

3、汎用測定モード：表面テクスチャを自動的に識別し、信号を最適化し、サブナノ精度と大段差高さを両立させる。

4、エリート強化されたイメージング：計測精度を維持しながら高忠実性を提供2D光学画像

5、傾斜/ピッチ光学ヘッド：特定のモデルは側頭傾斜時の測定と焦点位置の変化を実現し、試験効率と使用利便性を大幅に向上させる。

6、高効率分析ソフトウェア：数千種類のプリセットフィルタと分析スクリプト、ワンタッチ出力ISO25178、ASME B46.1の規格などの標準パラメータを指定します。

7、自動バッチ処理：オートフォーカス、自動照明、座標ファイルのインポート、パターン認識、ESD保護し、「ワンタッチ」量産測定を実現する。

8、膜厚測定モード：透明膜の上下表面の反射信号を測定することにより、膜厚を計算する。

三、アプリケーションの概要：

1、精密加工：計量レベル測定システムは、精密加工表面品質またはマイクロナノ加工パターンの三次元寸法を正確かつ高効率に測定し、監視、追跡、プロセス評価に十分なフィードバックと報告を提供し、プロセス開発効率を大幅に向上させた。

2、マイコン電気システムとセンサ：高フラックスと高繰り返し性のエッチング深さ、膜厚、段差高さ及び表面粗さ測定を提供し、プロセス監視に正確で効率的な保障を提供する。

3、****：インプラント材料及びコンポーネントなどの各種****表面に対して正確、繰り返し可能な測定を行い、品質保証を提供する。

4、まさつまもう：体積摩耗量の定量測定、摩擦、摩耗、潤滑、腐食対材料の正確な分析と評価/コンポーネントの性能と寿命の影響。

5、はんどうたい：粗さ、平面度を測定する、バンプの高さ、共面性及び欠陥の同定と分析、および各種の線、穴、膜層などの構造の重要な3次元寸法測定。例えば**パッケージ領域で再配線（RDL）、三次元スタックシリコン穿孔（TSV の）とキャリアプレートなどのプロセスの3次元寸法監視。

6、光学：光学材料、部品表面を精密、繰り返し測定し、傷を定量的に評価し、加工過程の最適化を支援する。例えば、各種光学平面、曲面表面品質監視、およびマイクロナノ光学構造（周期、深さなど）とマイクロレンズアレイ（直径、曲率、矢など）の自動測定。