半導体、光電子及びマイクロナノ製造などの高精密加工業界において、ウエハの塗布、現像、洗浄などの重要なプロセスはISO Class 1級の高度に制御された清浄な環境の中で伝送と処理を完了する必要があり、この過程におけるいかなる微小な気流摂動（例えば局所渦、風速急変）や風速異常（高すぎるか低すぎる）も、深刻な問題を引き起こす可能性がある。風速が高すぎてウエハ表面のレジストコーティングを吹き付けやすく、パターンの変形や欠陥を引き起こす、気流摂動は、最終的には製品の良率（良率が10%以上低下する可能性がある）とプロセスの安定性に直接影響するウェハの機械的伝送精度を妨害したり、機器の引っ掛かり故障を引き起こしたりする可能性もある。



そのため、設備キャビティ内部で正確、繰り返し可能、リアルタイム性の風速モニタリングを展開し、技術の一致性を保障し、設備の性能が基準を達成したかどうかを検証し、潜在的なリスクを排除する核心手段の一つとなっているが、環境テスター6531はまさにこの核心的な需要を満たす重要な設備である。
テストプロセス
ウエハ伝送路内の気流状態がプロセス要件に合致しているかどうかを検証するために、高精度マルチパラメータ環境試験器6531を用いて、以下の重要パラメータに対して同期測定を行った。
環境条件：
試験は恒温定圧、ISOClass 1級クリーン環境で行う必要があり、外部微粒子干渉の検出を避けることができ、試験前にシステムの自浄と平衡を完成する必要がある。



風速範囲：
塗布・現像系設備（塗布機、現像機、スプレー機）
このような設備は加工過程においてレジストコーティング、現像液のスプレーコーティングなどの精密な操作を完成する必要があり、レジストコーティングの厚さは通常ミクロン級で計量され、気流速度が速すぎるとコーティング表面に波紋、エッジ堆積などの欠陥が発生し、遅すぎるとコーティング/現像過程で揮発した溶剤蒸気を適時に持ち去ることができず、ウエハ汚染につながりやすい。そのため、風速は0.3～1.0 m/sに厳密に制御し、空洞断面内で気流の分布を均一にする必要がある。
洗浄類設備（脱膠機、単錠洗浄機）
洗浄時には化学試薬（硫酸、フッ化水素酸など）または高圧スプレーでコロイド層、不純物を除去する必要があり、過程中に化学蒸気と微粒子屑が発生する。風速不足は汚染物質を付着させやすく、洗浄が不十分であるdi、風速が高すぎるとシャワー水の流れを乱したり、残留試薬を急速に揮発させて結晶汚染を形成したりする。そのため、風速は1.0-1.5 m/sに設定し、効率的に汚染物を除去することができ、キャビティの気流の安定を維持することができ、洗浄プロセスを妨害しない。
おんしつど：
温度が高すぎるとレジスト粘度が低下し、溶媒の揮発が速くなり、塗布均一性に影響する、低すぎると洗浄試薬の活性が低下し、洗浄効果が悪くなる、湿度が高すぎると設備の金属腐食、電気短絡が起こりやすく、低すぎると静電気が発生し、微粒子を吸着してウエハを汚染する。そのため、温度は25℃、湿度50%RH程度に制御する必要があります。
あつりょくさ：
内圧が低すぎると、外部の含塵空気が染み込んで汚染される。高すぎるとキャビティシールの変形、気流異常を招き、設備の運行に影響を与える可能性がある。異なる設備の差圧要求は異なる：ゴム塗布機、現像機は密封性が強く、気流を安定させる必要があり、差圧は通常5-50 Paである、脱ゴム機、単錠洗浄機は揮発性ガスの排出を加速させ、差圧は50-200 Paである。全体の差圧範囲は1-200 Pa（設備の種類によって決まる）である。
テスト方法：
1、グリッド配置法を採用する：ISO 14644-3規格を参考にして、FFUの吹き出し面を少なくとも3×3または4×4の等面積グリッドに分割する、メッシュの中心はサンプリングポイントであり、同時に高効率フィルタ排気口の下、キャビティの隅、ウエハ伝送路の上などの重要な領域を含む。試験断面の平均風速をとり、要求に合致するかどうかを判断する。



2、6531プローブを風の方向に正対するように調整し、測定点はFFU出風面から15 ~ 30 cm離れている（設備機台内の状況に応じて調整可能）。
3、6531プローブを各グリッド中心点位置に調整し、各測定時間は≧10秒、複数回測定し、風速データの平均値を取って記録することを提案する。
4、テストを終了し、収集したデータ記録に対して計算分析を行う。
注意：試験時に設備は良好な密封性を維持し、試験過程中のキャビティ密封不良によるFFU出風の気流の大きさと流れの変化を避け、試験結果の信頼性に影響を与える。



テスト効果：
実測によると、環境測定器6531はクリーンキャビティの気流安定性を正確に検証でき、高クリーンプロセス段階のウエハ輸送の安全とプロセスの一致性を効果的に保障することができる、同時に、そのマルチパラメータ同期モニタリングと長期データ蓄積は設備の調整、検収及びメンテナンスに信頼できる根拠を提供し、生産ラインの良率と運行効率を著しく向上させた。
機器の性能と応用
インテリジェント型環境試験器65 Ser、風速、風量、温度、湿度、圧力を同時に試験し、配管断面の形状と寸法を入力して風量を計算することができ、試験データ保持機能、統計計算（平均値、最大値、最小値）、データは最大20000個記憶し、8種類のプローブを選択することができ、プローブ交換は互換性がある。



KANOMAX環境試験器65 Serは通風試験、実験室制御、クリーンルーム測定、IAQ評価、工業衛生、品質制御などに広く応用され、技術安全と製品品質を保障している。