1738年、スイス人ダニエル・ベルヌーイはベルヌーイ方程式をもとに差圧法を用いて水流量を測定した。その後、イタリア人G.B.ベンチュリ研究はベンチュリ管で流量を測定し、1791年に研究結果を発表した。

1886年、アメリカ人のハーシェルはベンチュリ管を用いて水流量を測定する実用的な測定装置を作製した。

20世紀初期から中期にかけて、従来の測定原理は徐々に成熟していき、人々は従来の測定方法に思考を限定するのではなく、新しい探索を始めた。

30年代になると、液体とガスの流速を音波で測定する方法音波で流量を測定する方法が検討されるようになったが、第二次世界大戦まで大きな進展はなく、1955年になってようやく音響循環法を応用したマクセン流量計が登場し、航空燃料の流量を測定するために使用された。

20世紀の60年代以降、計測器は精密化、小型化などの方向に発展し始めた。