研究開発された熱式ガス質量流量計は自動的に微小流量を検査し、変送することができ、計量ガスの規模は0-101/hr（バイパスを持って0-301/hrに拡張することができ、より大きいかもしれない）であり、作業圧力が高く、温度規模が広く、耐食性がよく、規範電流を出力するなどの特徴があり、中小型設備の自動化を完成する主要なものである。

微小流量の自動検査は多くの工業部分（例えば原子力工業、石油と化学工業、航空、半導体、医薬、軽工業、食品及び環境保護などの部分）で広く使用されている。現在、内孔板、毛細管、小型タービン流量計、熱式ガス質量流量計など、小流量を検査するためのさまざまな技術が展開されている。毛細管と内孔板設備は閉塞しやすいが、タービン式小流量計の機械加工は高い要求があるため、広く使用されていることを制約している。熱式ガス質量流量計はこれらの欠点を克服できるだけでなく、質量流量を直読でき、可動部品がなく、安定性がよく、信頼性が高く、距離が広く、線形がよいなど。ここ数年、各国で工業化商品の報道があり、小流量カテゴリーの特徴の検査外見である。

国内のいくつかの科学研究と生産部分は、ここ十数年来、熱式ガス品質流量計の検討作業の中でも多くの作業を行ってきたが、今まで定型化された商品は見られなかった。

熱式ガス質量流量計の展開は70年近くの前歴があり、初期の熱流量計はトーマス（トーマス）によって提案され、構造原理は図1に示されている。それは加熱電源によって2つの測温素子の間の安定した温度差（おそらく加熱電力は変わらず温度差は可変）を堅持し、その加熱素子と測温素子はすべてゲート状に加工され、立体的に流体の全断面を横断し、書き込まれた熱Qと質量流量Mのは：

式中Cは流体の比熱であり、4 tは測温素子間の温度差である。（1）式から分かるように、安定した温度差を堅持する場合、QはMの線形関数である、一方、安定電力を堅持する場合、△tはMに反比例する。

トーマス流量計は、衝撃、腐食、摩耗、汚染を受けやすく、すべての流体が加熱されているため、大流量のガスや液体を測定すると、電力損失と外観の呼応時刻が大きくなる。それでも、現在に至るまで、トーマスの外見原理に基づいたホットフィラメント式とホットフィルム式風速計と呼ばれる流量外見を生産している工場もある。

トーマス流量計の改善は2つの側面に表れている。1つは加熱素子と測温素子の機能を融合して一体化したもので、このような外見は自己加熱流量計と呼ばれ、2つは測温と加熱素子を子薄肉測量管の外壁に設置し、測量素子を流体の衝撃と腐食から保護することである。このような外観構造は図2を参照してください。この非タッチ式アドレス測定構造では、巻線W 4は、参照日として閉鎖された金属管の外壁を回り、W 1は測定管の外壁を回る。W 12、W 3は他の2つの固定抵抗とホイートストンブリッジを構成し、中間の管制は拡張レンジ用のバイパス管である。参照アームは電源と環境条件の変化に対して補償作用がある。*、ブリッジによる温度測定は便利で安定しており、熱式ガス質量流量計は直流ミリボルト信号として出力される。そのため、この方法は大きく展開され、主にガスの小流量を検査するために用いられている。安定電力を堅持する場合、温度差tは流量Mとシェアし、ブリッジは温度差1抵抗1 m号の変換を完了できるため、出力のmvは直接ガスの質量流量Mに比例する。

フランスのU 65型、U 70型などのマイクロ流量計と米国のLFとHFシリーズの熱式流量計は、原則的にこの原理に属する。

測定された気体沐浴を加熱する方法は、直流電信を抵抗線に向け、そして薄い}r管を通じて気体内に熱を伝達する方法のほか、低周波と高周波の加熱測定管の方法も展開した。低周波の方法は管自身の抵抗を多く使用し、管の両端に低周波低圧交流電流を印加する、高周波の方法は環状fn流またはlJ}を用いて加熱すべきであることが多い。熱式ガス質量流量計これをヒートパイプ式流量計と呼ぶ。

温度差を検査する方法は抵抗体を選択する以外に、熱電対を選択することができて、通常測量管自身は熱電対の一極とすることができて、この方法はアメリカで取得しました。

第3類熱式ガス質量流量計は、境界層の熱伝導と質量流量に対応するため、管の内壁と流体の間に構成される流体境界層を測量する原理に基づいており、このような外見は境界層熱式流量計と呼ばれ、一部の国では液体小流量の工業化した外見を検査するために展開されている。境界層流量計の一般方程式は、

層流n=1/3について、乱流n＝0.8については、明らかにトーマスの外見については、n= 1。しかし（2）式のCは総合的な定数であり、管内径D、加熱面の軸方向長さL、流体の熱伝導率K、比熱C：及び粘度uなどと関係がある。