静電容量マイクロメータは静電容量センシング原理に基づく高精度測定器であり、主に微小変位、厚さ、隙間、振動などの物理量の非接触式測定に用いられ、精密製造、半導体、光学技術、航空宇宙などの測定精度に対する要求が高い分野に広く応用され、圧電ナノ測位、マイクロナノナノナノナノ加工設備などの重要なセット測定部品である。コアの明日の新製品C 2 D 18容量マイクロメータは、2 mmの大ストローク測定能力を備えており、ストロークの突破を実現すると同時に、常にナノメートル級の測定精度を守り、広いストロークと高精度のコア需要を両立している。

一、新製品の推薦：2 mmレンジコンデンサマイクロメータC 2 D 18

容量マイクロメータは、微小変位の変化などの測定物理量を容量値の変化に変換し、信号処理回路を介して容量変化を読み取り可能な電気信号に変換することにより、微小量の正確な測定を実現する。その測定分解能はナノスケールに達することができ、マイクロナノスケール測定におけるコアツールの1つである。

既存の容量マイクロメータ製品ラインに基づいて、2 mmレンジ容量マイクロメータC 2 D 18を新たに追加し、100μmから2 mmまでの全レンジカバーをさらに改善した。この製品はハイエンド精密加工、圧電位置決めシステムのセット、工業検査及び科学研究実験などの多シーンに、より広い範囲のナノスケール感知能力を提供し、大行程微小量測定により全面的な方案を提供すると同時に、全体測定方案の柔軟性と適応性をより完備させることを目的とする。

新製品の3つのコアメリット：

▸1.レンジ突破、より広いシーンをカバー：2 mm超大量レンジは従来の1 mm大量レンジ製品より倍の拡張を実現し、頻繁に設備を交換する必要がなく、ミクロン級からミリ級までのマルチスケール測定ニーズを満たすことができ、より広範な精密検査シーンに適している。

▸2.精度を守り、ナノスケールの性能を継続する：分解能と繰り返し性はナノスケールの水準を維持し、最適化設計を通じて温度ドリフト、電磁妨害などの環境影響を効果的に相殺し、測定安定性を確保する、線形度は2 mm全レンジでもナノスケール精度を維持した。

▸3.圧電位置決めの全場面に適合：コア明日圧電ナノ位置決め台、コントローラと互換性があり、「位置決め-測定-閉ループ修正」一体化解決方案を形成でき、生態系が強い、応答時間が速く、動的閉ループ制御要件に適合する**ことができます。

二、静電容量マイクロメータの応用分野

容量マイクロメータはナノスケール精度、非接触測定、高速応答と高安定性などの独特な優位性により、すでに現代精密測定分野の核心ツールとなり、精度に極めて高い要求がある複数の業界に広く応用されている：

1、半導体とマイクロエレクトロニクス産業

ウェハ加工の全プロセス監視：ウェハ厚さと反り測定、表面欠陥分析、マスク版位置決め、ウェハテーブルの多軸変位フィードバック、

チップパッケージとテスト：パッケージ層間アライメント、チップボンディング圧力とギャップ制御など。

2、精密光学技術

光学素子製造：レンズ曲率、平行度、中心厚さの測定、光学素子めっき膜厚さ制御、光学プリズム角度校正、OLEDパネル厚さ均一性検出、ガラス基板反り測定など。

3、精密製造分野

超精密加工とモニタリング：工作機械主軸回転精度測定、精密ガイド直線度測定、金型の摩耗度モニタリング、マイクロナノ構造変位、変形と振動検出など。

4、航空宇宙分野

航空機製造：機体寸法の精密測定、複合材料層間隙間検査、コア部品例えば航空エンジン翼振動分析、宇宙機太陽光帆板展開状態監視など。

5、自動車とエネルギー設備

自動車製造品質制御：ブレーキディスク厚さ変化検出、エンジンシリンダ平面度測定、

新エネルギー設備の製造：リチウム電池極片の厚さ測定、燃料電池膜電極モジュールの厚さ測定、風力発電羽根の変形監視など。

6、科学研究と汎用測定

設備のセット：走査プローブ顕微鏡、共焦点顕微鏡などの設備のサンプル台位置監視センサとして、設備の縦方向測定距離を拡張することができる、

材料と環境試験：複合材料の弾性率試験、疲労試験の微小変形モニタリング、真空、低温、強磁場などの特殊な環境下の変位検出と干渉のない精密位置決めなど。

コア明日容量マイクロメータは高精度位置決め、角度/直線振動測定、厚さ測定、回転機械間隙測定、鼓動測定、オートフォーカスまたはゼロ調整、誘電率測定、天文望遠鏡レンズ位置決め、外径測定、変形測定などに適している。

三、コア明日の静電容量マイクロメータのコア特徴

1.超高精度と解像度

測定分解能はナノメートル級に達することができ、測定精度が高く、マイクロナノスケール測定の厳しい需要を満たすことができる。

2.非接触測定

測定中にセンサーと被測定物体は機械的接触がなく、被測定表面に傷、摩耗を与えず、接触力による測定誤差もなく、脆弱なワーク、フレキシブル材料または高速運動物体の測定に適している。

3.応答速度が速い

容量変化の検出は機械慣性の影響を受けず、信号処理回路の応答時間はマイクロ秒級に達することができ、微小振動、高速変位などの動的変化をリアルタイムに捉えることができ、動的測定と閉ループ制御シーンに用いることができる。

4.安定性が良く、耐干渉性が強い

温度ドリフト、電源変動などの環境干渉を効果的に打ち消すことができる、容量センサーの構造は安定しており、損傷しやすい部品はなく、長期使用の安定性が高く、メンテナンスコストが低い。

5.測定範囲が柔軟

CxxDxx全シリーズ容量マイクロメータの測定距離は100μm ~ 2 mmをカバーし、ミクロン級からミリ級までの広い範囲の測定を実現し、マイクロナノ加工の微小変位測定を満たすことができ、精密機械の間隙検出にも適応することができる。

6.複数の測定材料を配合するのに適している

測定対象物が一定の導電性を有し、かつ条件を満たす場合、測定を行うことができ、材質の影響を受けず、金属、半導体、ガラス、セラミックスなどの多種材料の精密検査に適している。

四、コア明日容量マイクロメーター全シリーズ製品マトリックス

1）センシングプローブ

さまざまな精度、レンジ、動的性能のニーズに対応するために、完全な容量マイクロメータ製品ラインを提供しています。

柱状容量センサ

スクェアコンデンサセンサ

2）センシングコントローラ（信号処理）

E 75シリーズシングルチャネル、小容量センシングコントローラ

E 75シリーズのシングルチャネルセンシングコントローラは、シングルチャネル設計を採用し、構造がコンパクトで、小体積特性により、空間が制限されている多種のシーンに柔軟に適応することができる。多種の型番の静電容量マイクロメータを配合することができ、単点位微小変位測定、小型圧電位置決めシステムの閉ループ制御などのシーンに広く応用され、単通路の高精度センシング需要に高効率、正確な解決方案を提供する。

E 01シリーズモジュール化、マルチチャネルセンシングコントローラ

E 01シャーシ式センシングコントローラは多型式静電容量マイクロメータに適しており、ナノメートル級の測定解像度を備えており、モジュール化設計理念を採用し、1 ~ 12チャンネルの自由選択をサポートしており、実際の需要に応じて柔軟に組み合わせることができ、多シーンに適している。同時にデスクトップ構造とボードカード型プラグインの2種類の形態選択を提供し、独立して使用する利便性とシステム統合の互換性を両立させる。

詳細については、明日電話してください。